多晶硅產(chǎn)業(yè)是一種新興的能源產(chǎn)業(yè)，由于生產(chǎn)多晶硅的還原爐鐘罩，因為粘附在內(nèi)壁的物料和污物，需要定期清洗和烘干。傳統(tǒng)的清洗方法是采用高壓清洗機，由人工手持高壓噴槍直接進行沖洗，但這種方法清洗效果不能完全保證，這主要是由于工人的心情造成的。如果還原爐鐘罩沒有完全清潔干凈，就會對多晶硅生產(chǎn)時造成污染，從而影響多晶硅的純度，最終導致銷售利潤下降。為此，北京德高潔清潔設(shè)備有限公司專門研發(fā)設(shè)計了一套針對于多晶硅還原爐鐘罩的全自動清洗系統(tǒng)，這套系統(tǒng)可大幅度提高清洗效果，并大幅度降低多晶硅生產(chǎn)時造成的污染，從而提升多晶硅的純度。以下主要介紹這部分內(nèi)容。

 

 

 

德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)是以高壓清洗機為主機，以高壓水射流為動力的自驅(qū)動三維旋轉(zhuǎn)噴頭形成360°的網(wǎng)狀高壓水柱噴射表面，從而完成鐘罩內(nèi)部表面的水力掃射，并采用專用清洗劑等為主要清洗液，先用純水(去離子水或叫脫鹽水)漂洗，之后再采用高純水沖洗，最終完成清洗過程。

 

 

1、德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)核心部件高壓泵采用進口耐酸堿、耐高溫、全不銹鋼的加壓泵，清洗作業(yè)時三維旋轉(zhuǎn)噴頭可實現(xiàn)自驅(qū)動旋轉(zhuǎn)、自動升降、全方位自動清洗，并可保證多晶硅的純度。 

 

2、利用多晶硅生產(chǎn)廠家的蒸汽余熱將清洗介質(zhì)加熱，從而改變原電加熱工藝。

 

3、利用多晶硅生產(chǎn)廠家的廠家蒸汽余熱，設(shè)置10萬級空氣凈化換熱裝置代替原氮氣電加熱干燥還原爐體工藝。

 

4、北京德高潔清潔設(shè)備有限公司自行研發(fā)設(shè)計的自驅(qū)動旋轉(zhuǎn)升降噴射機構(gòu)可適應(yīng)各規(guī)格的還原爐體。

 

5、由于清洗過程中會有氫氣和酸性物質(zhì)產(chǎn)生，所以必須解決二次污染問題。我公司自行設(shè)計的全封閉式清洗裝置可完美解決二次污染。

 

6、德高潔多晶硅還原爐鐘罩清洗系統(tǒng)設(shè)計了高壓堿液和清水的供給和分開回收裝置，并進行凈化使后序清洗水用于前序的漂洗工序，充分利用了廢水資源。